Grande surface circulaire en aluminium fraisé plat avec une uniformité de température supérieure à 1 % sur toute la surface de chauffe. Conçu spécifiquement pour travailler avec des tranches de silicium de 12 po (304,8 mm) de diamètre ou moins et d'autres échantillons où la précision de la température et l'uniformité de la surface sont indispensables.
La description
La plaque de cuisson programmable Torrey Pines Scientific WaferPlate ™ est une plaque chauffante numérique entièrement programmable conçue spécifiquement pour la cuisson des plaquettes de silicium. En mode manuel, réglez simplement une température cible et l'appareil ira et maintiendra cette température exacte à ± 1 °C. En mode programmable, les routines peuvent être stockées en mémoire pour un rappel et une utilisation instantanés. La routine enregistrée sera exécutée automatiquement, et exactement de la même manière, encore et encore.
Les programmes peuvent être simples ou complexes selon les besoins. Plusieurs températures, taux de rampe de température si nécessaire et temps de séjour peuvent être stockés. Ces programmes peuvent être écrits et stockés dans la télécommande fournie avec l'unité, ou les programmes peuvent être aussi simples ou complexes que nécessaire lorsqu'ils sont écrits par l'utilisateur sur un PC et exécutés par ce PC via le port d'E/S RS-232 sur l'arrière de l'appareil de chauffage.