Testeur d'épaisseur SK-tFTM-IR

de laboratoirecompacten ligne

Les contrôleurs d'épaisseur de feuille à infrarouge mesurent l'épaisseur des feuilles translucides telles que les séparateurs de batteries, les revêtements faiblement réfléchissants tels que le black resist, et le silicium. Le système d'absorption infrarouge se compose d'une sonde compacte à miroir avec un système optique transmissif, qui permet de mesurer simultanément plusieurs paramètres tels que l'épaisseur, la densité et la composition du film à plus de 100 longueurs d'onde. 1 Mesure l'épaisseur des feuilles translucides, des films à faible réflexion, du silicium, etc., ce qui était difficile avec l'interférométrie optique 2 Sonde compacte L'adoption d'une petite sonde réfléchissante de 30 mm permet de l'installer dans un espace réduit sur les équipements ou les lignes de production. En outre, comme la sonde n'est reliée au corps principal que par un câble en fibre optique, elle présente une excellente résistance à l'environnement. Mesure à grande vitesse Échantillonnage simultané des longueurs d'onde du proche infrarouge de 950 nm à 1650 nm en 100 points ou plus 4 Reproductibilité de la mesure de l'épaisseur 0,1 % ou moins (3σ)