Testeur d'épaisseur SK-iFTM

pour imagerie médicalepour applications médicales

Le moniteur d'épaisseur de film par imagerie est un outil de métrologie qui permet de visualiser la distribution de l'épaisseur d'un film multicouche transparent. Il peut visualiser la distribution de l'épaisseur du film avec une résolution de 0,1 nm en utilisant la réflectométrie spectroscopique. Visualiser l'uniformité de l'épaisseur du film Mesurer l'épaisseur/la qualité du film dans le champ de vision du microscope, montrer la distribution en 3D Résolution de l'épaisseur du film : <0,1nm Bonne résolution de l'épaisseur équivalente aux outils de spectrométrie. La longueur d'onde peut être sélectionnée de 450nm à 750nm avec une précision de 1nm. Haute vitesse / Mesure multicouche jusqu'à 9 couches Traitement parallèle par réflectométrie spectroscopique Applications avancées ① Film répété plusieurs centaines de fois comme les filtres d'interférence passe-bande et film multicouche composite comme la structure en tranchée ② Estimation de la densité des motifs submicroniques à l'aide de l'approximation du milieu effectif (EMA) ③ Évaluation de la cristallinité d'une zone locale telle que le recuit au laser Mesure de la distribution de l'épaisseur du film dans la région spécifiée du champ de vision de l'objectif. Mesurer la zone 6,6x8,8mm□ en utilisant l'obj. 1x. Mesurer la résolution spatiale de 0,5um en utilisant l'obj. 50x.