Testeur d'épaisseur SK-FTM

de laboratoireautomatiquecompact

Le moniteur compact d'épaisseur de film est un mesureur d'épaisseur de film spectrophotométrique par réflexion qui utilise une petite sonde de réflexion et qui est applicable dans toutes les situations, du niveau du laboratoire à l'inspection en ligne à 100 % dans le processus de production. Il présente une excellente facilité de maintenance et peut être intégré à l'équipement de traitement et à la gestion de la ligne. Il est possible de mesurer simultanément jusqu'à 9 types de films transparents. Il peut être utilisé comme moniteur en ligne ou en bout de ligne pour les différents processus de films multicouches. La sonde compacte peut être installée dans un espace réduit à l'intérieur de l'outil de traitement. Il est également possible d'évaluer le rapport de mélange de la couche mixte ou la cristallinité du poly-silicium en utilisant la théorie EMA. Sonde compacte avec fibre optique peut être installée dans un espace réduit à l'intérieur de l'outil de production. Bonne répétabilité de la mesure de l'épaisseur du film 0,1 nm(3a) Mesure de l'épaisseur d'un film multicouche jusqu'à 9 couches Fonction d'analyse des matériaux - Évaluation du rapport de mélange du matériau composite à l'aide de l'EMA - Cristallinité et analyse des constantes optiques Sans fil (option) Le logiciel de détection du point final de l'épaisseur du film est inclus Etape de cartographie automatique (Option) Configuration système recommandée Température ambiante - : 18 à 45 ℃ Longue durée - : < ±2.0℃/24Heures Court terme - : < ±1.0℃/1Heure Humidité - : 45±20% (sans condensation)