La M20 est une vanne à diaphragme pour les applications HP et UHP. Sa conception sans ressort permet de conserver le plus haut niveau de pureté du gaz. La M20 est destinée aux basses pressions jusqu'à 15 bar. Deux types d'actionnement sont disponibles à l'achat : volant multi-tour ou actionneur pneumatique.
Principaux avantages
test de fuite à l'hélium effectué à 100%
Disponible dans les tailles 3/4" à 1" pour prendre en charge une large gamme de connexions
Assemblage, test et conditionnement en salle blanche : Classe ISO 4
Numéro de série individuel pour une traçabilité complète
Rugosité de surface électropolie selon SEMI F19 UHP Grade
possibilité de double fusion en acier inoxydable 316L VAR® selon la norme SEMI F20
Excellente purgeabilité grâce aux orifices de purge en option
Matériaux de siège spécifiques aux fluides en option standard
Siège remplaçable
Spécifications
Pression d'ouverture de l'actionneur pneumatique 5 à 7 bar
Capacité de débit (cv) 3.5
Diamètre nominal du siège 20 Mm
Diamètre nominal du siège > 700 bar
Pression d'éclatement ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite certifié max. d'hélium à l'extérieur ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite certifié max. d'hélium à travers le siège (à la pression max.) - ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Taux de fuite hélium intérieur max. certifié (à la pression max.) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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