Le RX2500 est un régulateur de pression à diaphragme pour les applications HP et UHP. Sa conception sans ressort permet de conserver le plus haut niveau de pureté du gaz. Le détendeur existe en deux versions : version standard et version haut débit.
Principaux avantages
fonctionnement à 100% et test de fuite à l'hélium effectué
Membrane en Hastelloy®
Sans ressort interne
Assemblage, test et conditionnement en salle blanche : Classe ISO 4
Numéro de série individuel pour une traçabilité complète
Option interne résistante à la corrosion disponible : Clapet en Hastelloy®
Rugosité de surface électropolie selon SEMI F19 UHP Grade
option disponible : acier inoxydable 316L VAR® à double fusion selon SEMI F20
Version High-Flow (HF) (Cv:1.2) jusqu'à 1150 SLPM disponible
Matériaux de siège spécifiques aux fluides en option standard
Options multi-ports supplémentaires
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