Le RX3000 est un régulateur de pression à diaphragme à un étage pour les applications HP et UHP. Il s'agit du premier régulateur de pression sans fil et sans ressort de sa catégorie, pour un niveau de pureté maximal.
Principaux avantages
Conception unique sans filetage dans toutes les versions pour un niveau de pureté plus élevé
Conception sans ressort pour la version à diaphragme lié
Option sub-atmosphérique disponible
Effet de pression d'alimentation optimisé et excellente stabilité du débit
Durée de vie conforme à la norme CGA E4
Entrée sous vide jusqu'à 240 bar (3500 psi)
Assemblage, test et conditionnement en salle blanche : Classe ISO 4
Numéro de série individuel pour une traçabilité complète
Rugosité de surface électropolie selon SEMI F19 Grade UHP
316L VA
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