Réseau de microélectrodes tridimensionnelles :
Electrodes TiN, isolateur SiN, plot de contact et pistes opaques (TiN), avec électrode de référence interne, grille d'électrodes 8x8, 60 électrodes, espacement des électrodes 100 µm, diamètre des électrodes 12 µm, hauteur des électrodes au total 40 µm, garantie : 6 mois
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