■FLuide:Gaz N₂,Air,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Débit maximal:Gaz 1 ligne de 5SCCM à 10SLM / total 100SLM
■Accuracy:±1%F.S.
Contrôleur de débit massique haute performance adopté.
Mode de réglage du ratio de gaz mélangés / mode de réglage du ratio de gaz mélangés commutable.
Fonctionnement programmé avec des conditions préétablies en mode pas à pas.
Fonction de serveur VNC pour le contrôle à distance.
L'état de fonctionnement enregistré dans l'enregistrement des données peut être extrait via le port USB de l'appareil situé à l'arrière.
Arrêt d'urgence, réglage des limites supérieure et inférieure, débit totalisé, réglages d'autorité, etc.
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