Ellipsomètre spectroscopique Smart SE

Le Smart-SE est un ellipsomètre polyvalent et rapide dédié à la mesure d’épaisseur et de constantes optiques (n,k) des couches minces sur la gamme de longueurs d’onde 450-1000nm. Le Smart-SE intègre une sélection automatique de sept tailles de spot (de 75 à 1500µm), combinée à un système de vision permettant un placement précis du spot sur la zone à mesurer. Le Smart-SE se décline en trois versions : manuelle, automatique et in-situ. La version manuelle est compacte et intégrée convenant à des applications simples. La version automatique permet des mesures multi-angles et de réaliser des cartographies pour analyser l’uniformité de la couche sur toute la surface de l’échantillon. La version in-situ s’adapte sur les chambres de dépôt pour un contrôle in-situ de la couche déposée. Le Smart-SE est piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi 2 intégrant une version recette pour des mesures routinières et une version scientifique pour de la caractérisation avancée des couches minces. L’ellipsomètre Smart-SE répond aux besoins de caractérisation des couches minces dans les domaines du semiconducteur, du photovoltaique et de l’optoélectronique.