Compensé. ±50 SCCM à ±750 SCCM - Sortie analogique ou numérique. 10 SLPM à 300 SLPM - Sortie numérique.
Les capteurs Honeywell Zephyr™ de la série HAF fournissent une interface numérique pour la lecture du débit d'air sur des plages de débit à pleine échelle et de température compensée spécifiées. Les éléments de chauffage et de détection de la température isolés thermiquement aident ces capteurs à fournir une réponse rapide au débit d'air ou de gaz.
Les capteurs Zephyr sont conçus pour mesurer le débit massique de l'air et d'autres gaz non corrosifs. Les gammes de débit standard sont 10 SLPM, 15 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, 200 SLPM ou 300 SLPM, et des gammes de débit personnalisées sont disponibles. Les capteurs sont entièrement calibrés et compensés en température par un circuit intégré à application spécifique (ASIC) embarqué.
La série HAF >10 SLPM est compensée sur la plage de température calibrée de 0 °C à 50 °C [32 °F à 122 °F]. La compensation basée sur un ASIC de pointe fournit des sorties numériques (I2C) avec un temps de réponse de 1 ms.
Ces capteurs fonctionnent selon le principe du transfert de chaleur pour mesurer le débit d'air massique. Ils se composent d'un système microélectronique et microélectromécanique (MEMS) à micropont avec des résistances sensibles à la température déposées avec des couches minces de platine et de nitrure de silicium. La matrice de détection MEMS est située dans un canal d'écoulement d'air précis et soigneusement conçu pour fournir une réponse répétable à l'écoulement.
Les capteurs Zephyr offrent au client une fiabilité accrue, une grande précision, des mesures répétables et la possibilité de personnaliser les options du capteur pour répondre à de nombreux besoins d'application spécifiques. La combinaison de boîtiers robustes et d'un substrat stable rend ces produits extrêmement robustes. Ils sont conçus et fabriqués conformément aux normes ISO 9001.
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