Capteur de température AWM40000

de débitde gazmédical

Compensé ou non compensé. ±25,0 SCCM, 1,0 SLPM, 6,0 SLPM. Sortie analogique. Fonctionnement Le capteur de débit d'air massique à micropont fonctionne sur la base de la théorie du transfert de chaleur. Le flux d'air massique est dirigé sur la surface des éléments de détection. La tension de sortie varie proportionnellement au débit massique d'air ou d'autres gaz à travers les orifices d'entrée et de sortie du boîtier. Le boîtier spécialement conçu dirige et contrôle avec précision le flux d'air à travers l'élément de détection de la microstructure. La conception mécanique du boîtier permet de le monter facilement sur des cartes de circuits imprimés. Le capteur de débit d'air massique à micropont est doté d'une puce en silicium unique basée sur une technologie de microstructure avancée. Il se compose d'une structure de pont à couche mince, isolée thermiquement, contenant des éléments de chauffage et de détection de la température. La structure du pont fournit une réponse sensible et rapide au flux d'air ou d'autres gaz sur la puce. Des éléments de détection doubles, placés de part et d'autre d'un élément chauffant central, indiquent la direction et le débit du flux. Les résistances à couche épaisse et à couche mince découpées au laser permettent une interchangeabilité constante d'un dispositif à l'autre. Le capteur de débit massique à micropont utilise des résistances sensibles à la température déposées dans une fine couche de nitrure de silicium. Elles sont suspendues sous la forme de deux ponts au-dessus d'une cavité gravée dans le silicium. La puce est placée dans un canal d'écoulement d'air de dimensions précises afin de fournir une réponse répétable à l'écoulement. Une isolation thermique très efficace pour le chauffage et les résistances de détection est obtenue en gravant l'espace de la cavité sous les ponts du capteur de débit.