Microscope SEM SU8600

FE-SEMde laboratoire3D

Le SU8600 inaugure une nouvelle ère de microscopes électroniques à balayage à émission en champ froid à très haute résolution dans la gamme Hitachi EM, déjà ancienne. Cette plateforme CFE-SEM révolutionnaire intègre l'imagerie multifacette, l'automatisation, une stabilité accrue du système, des flux de travail efficaces pour les utilisateurs de tous niveaux d'expérience, et bien plus encore. Ultra-haute résolution La source d'émission à champ froid haute luminosité d'Hitachi fournit des images à ultra-haute résolution, même à des tensions ultra-basses. Un système de détection intelligent pour l'imagerie ESB à basse tension Image de la section transversale d'une carte NAND 3D ; La couche d'oxyde et la couche de nitrure du condensateur sont facilement distinguables dans l'image grâce à la capacité de détection de l'ESB. Imagerie rapide de l'ESB : nouveau type de cristal hors colonne BSED (OCD) En utilisant le nouveau type de cristal hors colonne BSED (OCD)*, le temps d'acquisition de l'image était inférieur à UNE SECONDE, mais l'interconnexion des couches inférieures et la structure Fin FET de la SRAM sont clairement visibles. Expérience utilisateur améliorée grâce à une automatisation avancée L'option logicielle "EM Flow Creator" permet aux utilisateurs de configurer des séquences d'opérations SEM reproductibles. Diverses fonctions SEM peuvent être assemblées dans la fenêtre d'EM Flow Creator par une méthode de glisser-déposer, puis sauvegardées sous forme de recette pour une utilisation ultérieure. Une fois la recette configurée, la collecte automatisée de données dans les conditions définies peut être effectuée avec une grande précision et une grande répétabilité. Interface flexible La configuration à deux moniteurs offre un espace de travail flexible et très efficace. Affichez et enregistrez 6 signaux simultanément afin d'acquérir plus d'informations en moins de temps.