Système de préparation d'échantillons automatique

pour microscopie électroniquede paillassesous vide

Ce dispositif est utilisé pour préparer la partie de la plaquette souhaitée pour l'analyse avec STEM, TEM, etc. en extrayant un micro-échantillon avec un faisceau d'ions dans la chambre à vide d'un système FIB. Caractéristiques Unité de micro-échantillonnage FIB et méthode de micro-échantillonnage FIB Un exemple d'échantillonnage de micro-chargeurs FIB Un échantillon de micro-pilier comprenant un point d'analyse est directement découpé dans un dispositif semi-conducteur. Les micro-échantillons sont découpés ou taillés en différentes formes en faisant varier la direction incidente du FIB Exemple de configuration du système Système FIB-STEM Un nouveau système d'évaluation des dispositifs semi-conducteurs est composé d'un système FIB FB2200 et d'un STEM HD-2700 de 200 kV. Le système va de la recherche de points défectueux à l'analyse de la structure à une échelle inférieure au nanomètre en quelques heures.