Microscope électronique à balayage SU3800/3900 Family
d'inspectionpolyvalentpour la recherche

Microscope électronique à balayage - SU3800/3900 Family - Hitachi High-Tech Europe GmbH - d'inspection / polyvalent / pour la recherche
Microscope électronique à balayage - SU3800/3900 Family - Hitachi High-Tech Europe GmbH - d'inspection / polyvalent / pour la recherche
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Caractéristiques

Type
électronique à balayage
Applications
pour la recherche, d'inspection, polyvalent
Configuration
au sol
Type de détecteur
d'électrons rétrodiffusés, d'électrons secondaires
Autres caractéristiques
haute résolution, automatisé, à balayage avec pression variable, pour nanotechnologie
Grossissement

Min: 5 unit

Max: 800 000 unit

Résolution spatiale

3 nm, 4 nm, 15 nm

Description

La famille SU3800/3900 VP-SEM est axée sur la productivité. Ces outils automatisent les tâches répétitives, ce qui vous permet d'obtenir des résultats reproductibles en peu de temps et avec peu d'efforts manuels. Deux chambres à échantillons différentes avec des optiques d'émission de champ en tungstène ou Schottky sont disponibles. Les SU3800 et SU3900 sont dotés d'un logiciel, d'une électronique et d'une plate-forme de détection communs. Caractéristiques du produit : - Détecteurs Hitachi à haute efficacité : -- Détecteur d'électrons secondaires pour le vide poussé -- Détecteur d'électrons rétrodiffusés à semi-conducteur à 5 segments pour le vide poussé et le vide poussé, sélection de différents modes de signal tels que le contraste des matériaux, la topographie de surface, la 3D -- Détecteur multifonction "UVD" en option : Electrons secondaires dans un vide poussé, cathode signal de luminescence, transmission (STEM, en liaison avec un porte-échantillon spécial) - Optique électronique moderne sans champ, au choix avec émetteur de champ Schottky ou avec des cathodes en épingle à cheveux en tungstène robustes, peu coûteuses et, grâce à une commande intelligente, durables - Manipulation aisée, même d'échantillons non conducteurs d'électricité, grâce au mode de fonctionnement intégré à vide réduit, qui peut être activé d'un simple clic de souris si nécessaire - Pour une vue d'ensemble parfaite : Les images de navigation en couleur des plaques d'échantillons couvrent l'ensemble de la zone d'échantillon observable par MEB - Fonctionnement sans souci : les collisions entre la platine et les composants du MEB sont pratiquement éliminées grâce à la limitation automatique de la course dynamique

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