Microscope CFE-SEM SU8600

pour la recherchede paillasseà émission de champ froid

Le SU8600 inaugure une nouvelle ère de microscopes électroniques à balayage à émission en champ froid à très haute résolution dans la gamme Hitachi EM, déjà ancienne. Cette plate-forme CFE-SEM révolutionnaire intègre l'imagerie multifacette, l'automatisation, une stabilité accrue du système, des flux de travail efficaces pour les utilisateurs de tous niveaux d'expérience, et bien plus encore. Caractéristiques Ultra-haute résolution La source d'émission à champ froid haute luminosité d'Hitachi fournit des images à très haute résolution, même à des tensions ultra-basses. Expérience utilisateur améliorée grâce à une automatisation avancée L'option logicielle "EM Flow Creator" permet aux utilisateurs de configurer des séquences d'opérations SEM reproductibles. Diverses fonctions SEM peuvent être assemblées dans la fenêtre d'EM Flow Creator par une méthode de glisser-déposer, puis sauvegardées sous forme de recette pour une utilisation ultérieure. Une fois la recette configurée, la collecte automatisée de données dans les conditions définies peut être effectuée avec une grande précision et une grande répétabilité. Spécifications de l'EM Flow Creator Pistolet à électrons - Pistolet d'émission de champ à cathode froide avec système de chauffage de l'anode Tension d'accélération - 0,5 à 30 kV Tension d'atterrissage(*1) - 0,01 à 20 kV Détecteurs standard Détecteur supérieur (UD) avec filtre ExB : Fonction de mélange des signaux SE/BSE Détecteur inférieur (LD) Détecteurs en option - Détecteur supérieur (TD) Détecteur de milieu de colonne (IMD) Détecteur à cristaux de type BSED en sortie de colonne (OCD) Type de BSED à semi-conducteur (PD-BSED) Détecteur à cathodoluminescence (CLD) Détecteur STEM Stade de l'échantillon Commande de la platine - entraînement par moteur à 5 axes Plage mobile - x - 0 à 110 mm y - 0 à 110 mm z - 1,5 à 40 mm t - de -5 à 70 r - 360° Chambre à échantillon - Taille de l'échantillon - Max. φ150 mm(*3)