Armoire de stockage pour tubes de quartz à flux laminaire vertical
Les outils de traitement humide Felcon sont utilisés lorsque les substrats ou les produits nécessitent une gravure ou un nettoyage chimique. Cela fait souvent partie d'une fabrication plus importante de plaquettes de silicone par exemple, ou dans des applications médicales telles que la fabrication de stents. Les bancs humides Felcon sont soit à commande manuelle, soit à commande automatique avec transfert robotisé des produits. Les bancs humides Felcon peuvent être construits en utilisant des matériaux de construction "FM" (Factory Mutual) avec des systèmes optionnels de détection et d'extinction des incendies. Ils conviennent à tous les types de salles blanches et peuvent également intégrer un flux d'air laminaire avec des filtres HEPA.
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