Système de nettoyage des surfaces à plasma basse pression Nano

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Les systèmes plasma Nano peuvent être combinés en plusieurs versions, comme un système modulaire. Les options les plus courantes en liaison avec les systèmes plasma Nano sont indiquées ci-après. Les systèmes plasma Nano sont utilisés principalement dans les secteurs suivants : analytique, archéologie, automobile, services de recherche et développement, technologie des semi-conducteurs, production en petites séries, plasturgie, technologie médicale, technologie des microsystèmes, capteurs, stérilisation, ingénierie textile Équipement de base La taille des boîtiers varie en fonction des composants/options Volume de chambre : 18 - 36 litres, suivant la version Alimentation en tension : 230 V pour appareil de table, 400 V / 3 phases pour appareil sur pied Alimentation en gaz Vannes à aiguille Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs)) Chambres à vide Acier inoxydable cylindrique avec couvercle (∅ 267 mm, L 420 mm ou L 600 mm env.) ou Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 240 mm x H 240 mm x P 420 mm ou 600 mm) Aluminium rectangulaire, porte à charnière (∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm ou L 600 mm env.) Verre de quartz (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm env.) Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm env.) Chargement Support de pièce (option : refroidissement à eau), récipients en verre de quartz, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable, verre borosilicate, verre de quartz