Système de nettoyage des surfaces par plasma Pico

semi-automatiquemédical

Les systèmes plasma Pico peuvent être combinés en plusieurs versions, comme un système modulaire. Les options les plus courantes en liaison avec les systèmes plasma Pico sont indiquées ci-après. Les systèmes plasma Pico sont utilisés principalement dans les secteurs suivants : Analytique (MEB et MET) Archéologie Automobile Services de recherche et développement Technologie des semi-conducteurs Production en petites séries Plasturgie Technologie médicale Technologie des microsystèmes Capteurs Stérilisation Ingénierie textile Équipement de base La taille des boîtiers varie en fonction des composants/options Volume de chambre : 4 - 15 litres, suivant la version Alimentation en tension : 230 V pour appareil de table, 400 V / 3 phases pour appareil sur pied Alimentation en gaz Vannes à aiguille Débitmètre massique (Mass-Flow-Controller (MFCs)) Chambres à vide Acier inoxydable cylindrique avec couvercle (∅ 150 mm, L 320 mm ou L 600 mm env.) ou Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 160 mm x H 160 mm x P 325 mm ou 600 mm) Aluminium rectangulaire, porte à charnière (∅ 160 mm x 160 mm, L 325 mm ou L 600 mm env.) Verre de quartz (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 130 mm, L 300 mm ou L 600 mm env.) Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 130 mm, L 300 mm ou L 600 mm env.) Chargement Support de pièce (option : refroidissement à eau), récipients en verre de quartz, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable, verre borosilicate, verre de quartz Électrodes Un ou plusieurs niveaux RIE