Système de nettoyage des surfaces à plasma basse pression Femto

semi-automatiquemédical

Les systèmes plasma Femto peuvent être combinés en plusieurs versions, comme un système modulaire. Les options les plus courantes en liaison avec les systèmes plasma Femto sont indiquées ci-après. Les systèmes plasma Femto sont utilisés principalement dans les secteurs suivants : analytique, archéologie, automobile, services de recherche et développement, technologie des semi-conducteurs, production en petites séries, plasturgie, technologie médicale, technologie des microsystèmes, capteurs, stérilisation, ingénierie textile Équipement de base Les boîtiers varient en fonction des composants / options Volume de chambre : 1,9 - 6 litres, suivant la version Alimentation en tension : 230 V pour appareils de table, 400 V / 3 phases pour appareils sur pied Chambres à vide Acier inoxydable cylindrique avec couvercle (∅ 100 mm, L 278 mm ou L 600 mm env.) Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 103 x P 285 x H 103 env.) Aluminium rectangulaire, porte à charnière (∅ 103 mm x 103 mm, L 280 mm ou L 600 mm env.) Verre de quartz (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 95 mm, L 280 mm ou L 600 mm env.) Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle ou porte à charnière (∅ 95 mm, L 280 mm ou L 600 mm env.) Chargement Support de pièce (option : refroidissement par eau) Récipients en verre de quartz Tambour rotatif pour poudres Tambour rotatif pour pièces en vrac Tôle d'aluminium Tôle acier inoxydable Verre borosilicate Verre de quartz Électrodes Un ou plusieurs niveaux RIE