Le système plasma Yocto III est essentiellement utilisé pour les applications suivantes : Activation, Nettoyage
Équipement de base
Alimentation en tension : 230 V
Alimentation en gaz
Gaz de traitement filtré
Débit filtré (non réglable)
Ventilation par filtre
Chambres à vide
Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle (env. ∅ 50 mm, L 150 mm)
Électrodes
Une paire d'électrodes à l'extérieur de la chambre à vide
Systèmes de commande
Générateur de plasma
Interrupteur à 2 niveaux
Bouton de démarrage
Interrupteur secteur
Générateurs
Fréquences : 100 kHz Puissance 0 - 30 W
Pompe à vide
Montée dans système
Exempte d'huile
Puissance d'aspiration : 0,75 m3/h