Les capteurs de vide MEMS à thermopile de la série PVC3000 de Posifa constituent une percée dans la mesure du vide en offrant une plage efficace de 0,1 millitorr (0,013 Pascal) jusqu'à l'atmophère (760 torr, ou 101K Pascal). En revanche, la plage supérieure d'un capteur de vide Pirani est généralement limitée à 30 torr. Un capteur de pression piézorésistif ne peut pas mesurer le vide en dessous de 10 torr. Un capteur de pression capacitif coûteux est limité à 0,1 torr à l'extrémité inférieure de sa plage. Le PVC3000 peut donc faire le travail de deux capteurs, à savoir un capteur Pirani et un capteur de pression piézorésistif/capacitif. En outre, le PVC3000 a une faible consommation d'énergie de 10 mW (en supposant une excitation pulsée avec un rapport cyclique de 75 %). En utilisant des cycles de travail plus petits, la consommation d'énergie peut être réduite davantage. Le PVC3000 utilise la deuxième génération de capteurs de conductivité thermique de Posifa (PTCD20), et fonctionne selon le principe que la conductivité thermique des gaz est proportionnelle à la pression du vide. Le PVC3000 est disponible sous forme de boîtier métallique SMD ou TO.
CARACTÉRISTIQUES
- Plage de mesure : 0.0001 à 760 Torr (0,013 à 101K Pa)
- Faible consommation d'énergie : <=10 mW
- Peut être nettoyé en l'immergeant dans un solvant, ce qui prolonge sa durée de vie
APPLICATIONS
- Détection de fuites dans tout système fermé
sous vide primaire, comme dans les panneaux isolés sous vide
panneaux isolés sous vide
- Vacuomètres portables et fixes
VALEURS NOMINALES MAXIMALES ABSOLUES
- Température de fonctionnement : -40 à 85 °C
- Température de stockage : -40 à 90 °C
- Chocs : 100 g en crête (5 chutes, 3 axes)
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