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Résolution spatiale: 530, 460 nm
Longueur: 600 mm
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Grossissement: 5, 150, 20, 50, 100 unit
Résolution spatiale: 630, 530, 460, 575 nm
Longueur: 635 mm
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Sensofar Metrology
Grossissement: 3, 10, 50, 100, 150 unit
Résolution spatiale: 550 nm
Longueur: 365 mm
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Sensofar Metrology
Longueur: 800 mm
Largeur: 695 mm
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